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高精度縦型ウェーハ研削盤

高精度縦型ウェーハ研削盤

高精度の縦型ウェーハ研削盤は、SiC、GaN、GaAs、Si、ZnO などの第 3 世代の半導体材料を研削できます。 DL-GSDシリーズは中国の自作研削盤で、その性能は世界基準に達しています。キーワード:高度な、メーカー、工場、カスタマイズ、在庫あり、見積もり、高精度、メンテナンスが容易

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製品説明


ウェーハ用の高能率研削・研磨機です。


1. できること高精度縦型ウェーハ研削盤 Doï¼


高精度の縦型ウェーハ研削盤は、SiC、GaN、GaAs、Si、ZnO などの第 3 世代の半導体材料を研削できます。 DL-GSDシリーズは中国の自作研削盤で、その性能は世界基準に達しています。


2. 高精度縦型ウェーハ研削盤の構成要素


1)。 DL-ES55シリーズ静圧エアフローティング電動スピンドル・・・

利点:エアベアリングは剛性が高く、振動が少なく、熱膨張が小さく、速度変化が小さい。

エアフローティング電動スピンドルは、エアフローティングブロックとして硬質微孔質材料を採用しており、スピンドルの精度、寿命、通気性、安定性は世界のスピンドル製品の最前線にあります。




2)。マニピュレータ



3)。静圧空気軸受作業ターンテーブル




4)。 NCG™ 非接触ゲージ™
アドバンテージ:
非接触、断片化率を低減
より正確に、剥離後のウェーハの厚さを測定できます
仕様: 精度 ⤠1 μm

再現性 0.1 μm






3. 簡単操作


タッチ式の液晶ディスプレイとGUI(Graphical User Interface)を搭載し、操作の利便性を向上。制御画面は、加工状況と設備状況を同時に表示できます。






4. 高精度垂直ウェーハ研削盤の仕組みは?


1)。ウェーハ カセットを材料テーブルに置くと、材料テーブルがウェーハ カセットを自動的に校正します。

2)。マニピュレータは、ウェーハ カセットからウェーハをつかみ、それをウェーハ ガイド ステージに移します。ガイドステージはウェーハを位置決めしてガイドします。
3)。メインターンテーブルがステーションAに回転し、研削加工を行い、NCGがウェーハの厚さを検出し、送り量を自動補正します。
4)。メインターンテーブルがステーションBに回転して研磨し、NCGがウェーハの厚さを検出して送り量を自動補正します。
5)。メイン ターンテーブルは、洗浄と乾燥のためにステーション C に回転します。

6)。ロボットが洗浄したウェーハをウェーハカセットに戻します。





5. 仕様高精度縦型ウェーハ研削盤


仕様

単位

DSG200A

DSG300A

ウェーハ直径

インチ

4â、6â、8â

8インチ、12インチ

研削方法

-

ウェーハ回転によるインフィード研削

砥石

んん

ダイヤモンドホイール(研削軸)

研磨パッド

≪CMPパッド≫

 

ダイヤモンドホイール(研削軸)

研磨パッド

≪CMPパッド≫

 

研削軸

定格出力

キロワット

~4

5.5

定格速度

r/分

1000~7000

1000~4000

精度

平坦度

μm

< 1.5

< 3

粗さ

μm

Ry 0.13(#2000仕上げ)

Ry 0.15(#1400仕上げ)

機械寸法(W×D×H)

んん

2500×4500×1800

重さ

KG

約4000KG

約5000KG


6.深センTengyu研削技術有限公司の工場







Shenzhen Tengyu Grinding Technology Co., Ltd.は、中国の深セン市光明新区にあり、登録資本金は500万元で、工場面積は約13,000平方メートルです。表面研削・研磨技術を手掛ける企業です。同社は、さまざまな高精度平面研削装置、平面研磨装置、高速シンニング装置、3D研磨装置およびそれらをサポートする消耗品の研究開発、製造、販売を専門としています。同社の製品は、メカニカル シール、電子通信、セラミックス、半導体、光学結晶、航空宇宙、自動車用金型、LED、携帯電話アクセサリー、ハードウェア、その他のコンポーネントの精密加工に広く使用されています。顧客基盤は国内外に広がっており、その代表者には、TF、MEEYA、Tongda Group、Hanslaser、および他の多くの有名企業が含まれます。


7.よくある質問

Q1: あなたは商社ですか、それともメーカーですか?
A: 私達は製造業者です。私たちは自社工場と経験豊富な技術者を持っています。

Q2: 支払条件は何ですか?
A: 沈殿物として T/T 30%、および配達の前の 70%。残高をお支払いいただく前に、商品とパッケージの写真をお見せします。

Q3: 配達条件と配達時間は?
A:EXW、FOB、CFR、CIF、DDUなど。通常、前払いを受け取ってから7〜20日かかります。特定の納期は、商品と注文の数量によって異なります。

Q4: 技術サポートを提供してもらえますか?
A: 私たちはこの分野に 20 年以上携わっています。問題がある場合は、当社にご連絡ください。問題の解決に役立つ提案を当社のエンジニアから提供します。

Q5: カスタマイズされた製品の MOQ は?
A: 私たちはメーカーであり、カスタマイズされた製品の小さな MOQ を提供できます。

Q6: 配達の前にすべての商品をテストしますか。
A: はい、すべての製品は出荷前にテストされます。

Q7: どのようにして私たちのビジネスを長期的かつ良好な関係にしていますか?
A.:お客様の利益を確保するために、高品質と競争力のある価格を維持し、すべてのお客様を友人として尊重し、どこから来ても誠実にビジネスを行い、お客様と友達になります.

Q8: 品質保証はありますか?
A: 私達は 1 年間の品質保証を提供します。私たちは、メカニカル シールの品質に責任を負っています。

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