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シリコンカーバイドウェーハ薄化機

シリコンカーバイドウェーハ薄化機

シリコンカーバイドウェーハ薄化機は、主にシリコンウェーハ、ガリウム砒素、炭化ケイ素セラミックス、ジルコニアセラミックス、グラファイト、タンタル酸リチウムなどの基板材料の薄化に使用されます。キーワード:高度な、メーカー、工場、カスタマイズ、在庫あり、見積もり、高精度、メンテナンスが容易

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製品説明


1. シリコン カーバイド ウェーハ薄化機の主な目的:


この装置は、主にシリコンウェーハ、ガリウムヒ素、炭化ケイ素セラミックス、ジルコニアセラミックス、グラファイト、タンタル酸リチウムなどの基板材料の薄化に使用されます。
縦プランジ研削。
最大研削サイズは、下位互換性のある Ï200mm に達することができます。
研削方式:ウェーハ回転送り研削方式により、垂直プランジ研削を実現。
スピンドルタイプ:エアタービンスピンドルで振動を抑えます。
スピンドルの最大出力…4KW。
主軸の最高速度・・・3000r/min。
Z軸分解能…0.1µm。
ウエハーテーブルの搭載方法は真空吸着です。
ウエハ支持台の種類:多孔質セラミックウエハ支持台。
補正砥石一式を装備。
ダイヤモンド砥石搭載
ダイヤモンド砥石(mm):Φ200±10%
研削方法は、半自動/自動、タッチスクリーン操作インターフェース、PLC制御、誤操作防止、異常発生時のアラームです。
厚さ測定方法は閉ループ厚さ測定です。
厚みばらつき TTV…±5µm
異なるシート間の厚さのばらつき WTW…±5µm
仕上げ面粗さ(μm):Ra±0.2μm(2000番砥石、シリコンウェーハを例に)




2.MあちねPのパラメータ シリコンカーバイドウェーハ薄化機


多孔質セラミックディスクの寸法

Ø200mm

サポート テーブルの速度 (無段階調整可能)

0~300rpm/分

シャーシモーター出力

1.5KW

ラスター制御システムの解像度

0.0001mm

車輪速(調整可能)

0~3000rpm/分

砥石主軸動力

5.5kw

ワークの平行度

±0.003mm

ワーク厚み誤差

±0.003mm

ワーク平面度

±0.003mm

ワークの最小減肉厚

△0.05mm/△100mm

砥石の再現性

0.002mm

砥石最小設定ステップ

0.001mm/秒

寸法
1200×1100×2070mm
重さ
1750キロ



3. 装備S構造シリコンカーバイドウェーハ薄化機


装置は、主にフレーム、エアスピンドル、多孔質セラミックサクションカップ(さまざまなタイプのテンションリングに適用可能)、真空スピンドルギアモーター、静圧エアサスペンション電動スピンドル、ダイヤモンド砥石、スクリューガイドモジュール、ハーモニック減速機、砥石オンラインで構成されていますドレッシング機構、フルクローズドループサーボ制御システム、切削液循環システムなど。


4. WorkingPりんくのイプルシリコンカーバイドウェーハ薄化機


製品が吸引され、真空吸盤スピンドル機構により時計回りに回転し、ダイヤモンド砥石を搭載した静圧エアサスペンション電動スピンドル機構により反時計回りに回転します。システムとフルクローズドループ制御システムの連携により、最終的に砥石によるワークの精密な研削制御を実現します。


5. の特徴 Sシリコン超硬ウェーハ薄化機


1).フレームは全体が高品質のダクタイル鋳鉄で作られており、基本的に素材の内部応力を解放する3年以上の時効処理に合格しています。
2).真空スピンドルは熱膨張の影響を受けにくいステンレス鋼を使用しているため、研削寸法の精度が高くなります。
3).真空吸引カップは、吸引プレートとして微孔性セラミックを採用し、吸引カップベースとして99アルミナセラミックを採用しています。これにより、一定期間処理した後の研削液の加熱が完全に回避され、吸引カップの熱変形が発生します。
4).真空スピンドルギアモーターは、デルタサーボモーターとデルタサーボ特殊減速機で構成されています。
5).静水圧エアサスペンション電動スピンドルのエアフローティングローターはジルコニアセラミックスでできており、モーターからの熱によるエアフローティングローターの膨張によって引き起こされるエアムーブメントローター間の過度のエアギャップを完全に回避し、スピンドルの剛性を下げます。
6).スクリューガイドモジュール。
7).高調波減速機は、日本から輸入された有名なブランドを採用しています。
8).砥石のオンラインドレッシング機構は、砥石が一定期間研削された後、砥石の研削面がブロックされて鈍くなるため、研削効率が低下し、製品が圧迫されます。ドレッシングにより研削効率が向上します。
9).完全に閉ループの格子制御システム: このシステムの協力を得て、サーボモーターによる砥石の送りの正確な監視と修理を保証します。
10).研削液循環システム:生産および加工プロセスにおける研削液は、循環システムを通じてワークピース、砥石車、電動スピンドルを連続的に冷却します。研削液はまた、砥石の自己研磨を改善することができます。


オプションの追加アイテム
オンライン厚み測定システム
≪注意事項≫ 上記2点の取り付けが必要な場合は、ご購入前にお申し出ください。


6.深センTengyu研削技術有限公司の工場







Shenzhen Tengyu Grinding Technology Co., Ltd.は、中国の深セン市光明新区にあり、登録資本金は500万元で、工場面積は約13,000平方メートルです。表面研削・研磨技術を手掛ける企業です。同社は、さまざまな高精度平面研削装置、平面研磨装置、高速シンニング装置、3D 研磨装置およびその関連消耗品の研究開発、製造、販売を専門としています。同社の製品は、メカニカル シール、電子通信、セラミックス、半導体、光学結晶、航空宇宙、自動車用金型、LED、携帯電話アクセサリー、ハードウェア、その他のコンポーネントの精密加工に広く使用されています。顧客基盤は国内外に広がっており、その代表者には TF、MEEYA、Tongda Group、Hanslaser、および他の多くの有名企業が含まれます。


7.よくある質問

Q1: あなたは商社ですか、それともメーカーですか?
A: 私達は製造業者です。私たちは自社工場と経験豊富な技術者を持っています。

Q2: 支払条件は何ですか?
A: 沈殿物として T/T 30%、および配達の前の 70%。残高をお支払いいただく前に、商品とパッケージの写真をお見せします。

Q3: 配達条件と配達時間は?
A:EXW、FOB、CFR、CIF、DDUなど。通常、前払いを受け取ってから7〜20日かかります。特定の納期は、商品と注文の数量によって異なります。

Q4: 技術サポートを提供してもらえますか?
A: 私たちはこの分野に 20 年以上携わっています。問題がある場合は、当社にご連絡ください。問題の解決に役立つ提案を当社のエンジニアから提供します。

Q5: カスタマイズされた製品の MOQ は?
A: 私たちはメーカーであり、カスタマイズされた製品の小さな MOQ を提供できます。

Q6: 配達の前にすべての商品をテストしますか。
A: はい、すべての製品は出荷前にテストされます。

Q7: どのようにして私たちのビジネスを長期的かつ良好な関係にしますか?
A.:お客様の利益を確保するために、高品質と競争力のある価格を維持し、すべてのお客様を友人として尊重し、どこから来ても誠実にビジネスを行い、お客様と友達になります.

Q8: 品質保証はありますか?
A: 私達は 1 年間の品質保証を提供します。私たちは、メカニカル シールの品質に責任を負っています。

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